Цитата
3. На подложку с нанесенным фоторезистом наносят защитный слой методом полива или вытягивания из раствора, разравнивают защитный слой с помощью мягкого ракеля или мягкой кисточки, избегая повреждения фоторезиста (слой создают для защиты от кислорода). Нанесение защитного слоя должно производиться сразу же после сушки фоторезиста, не допуская охлаждения пластины.
Максим, ты хрень для защитного слоя укупил или как? Разрешение 40мкм весьма впечатляет. Осталось только фотошаблоны с таким разрешением изготовить.